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超穩定緊湊型光學差分激光干涉儀專為必須長時間執行高度穩定的長度測量的應用而設計。緊湊的傳感器設計即使在狹窄的空間內也能實現長期穩定的調整和放置，因此精密測量系統非常適合用作閉環控制回路的激光尺。
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